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纳米新材料计量研究所

纳米新材料计量研究所于2012年正式成立并运转。该所的研究方向为纳米几何量计量、材料计量、物理化学计量和作为国家长度基准的稳频激光。主要任务包括开展相关领域测量理论、测量技术和量值传递/溯源方法的研究;研究、建立、保存和维护相关计量基准、标准和国家标准物质;开展基标准装置、标准物质的国际量值比对,实现国际等效;开展相关量的值传递、溯源、及高端分析检测服务。

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技术开发与技术服务

????纳米所利用纳米测量和材料表征分析设备,为企业、高校及研究所提供校准和测试工作。主要开展纳米几何结构、新材料微观结构、组成、性能测量,在一定程度上提供分析方法和缺陷解决方案,解决在测量与检验方面的基础性、共性技术问题。

科研成果

计量型双探针扫描探针显微镜标准装置

???? 计量型双探针扫描探针显微镜标准装置由国家科技支撑项目资助完成,主要用于纳米级台阶、栅格及线宽的测量,标准装置解决了现有扫描探针显微镜无法同时准确的测量纳米线宽的问题,填补了我国纳米线宽计量标准装置的空白,技术指标达到国内领先、国际先进水平。将用于建立国家纳米几何结构量值溯源体系。

??? 测量装置首次提出并实现了双探针对顶测量纳米线宽的方法,消除了传?#25104;?#25551;探针显微镜的测量盲区,减小了针尖形状对线宽测量的影响;研制了无需校准针尖尺寸的音叉自感应双探针扫描显微镜标准装置,实现了纳米几何结构线宽的准确测量。同时研制了符合阿贝原则的差动干涉计量系统,实现了线宽量值的直接溯源,有效降低了温度漂移和机械漂移的影响。并且提出并实现了图像边缘提取定位与针尖反馈扫描对准结合的探针对准方法,提高了对针准确度。

技术指标:?

??? 标准装置的最小测量线宽50nm

?? ?标准装置的测量标准不确定度5.2 nm (k=1)

基标准简介

基准名称

表面粗糙度基准装置

证书编号

国基证[2002]第004号

基准类别

国家基准

证书证号

检定/校准/测试项目

经确认的检定项目表(格式)

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序号

专家团队

宋小平:

? ? 工学博士,副研究?#20445;?#32435;米新材料计量研究所副所长。主要?#37038;?#29289;理化学计量研究。?#26800;?#25110;参与多项科研项目,发表科技论文十余篇。获得质检总局科技兴检奖、中国分析测试学会奖和计量院科技进步奖各一项。

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钱进:

? ? 研究?#20445;?#20027;要?#37038;?#28608;光技术及相关的激光稳频技术在计量中的应用。近年来,主持了国家科技部重大专项、质检总局质检专项和院科研项目总计十余项,发表论文十余篇,编写检定规程一项。在主持和参加的国家科技部重大课题中,都取得很好的成果。曾获得国家科技进步一等奖1项,国家科技进步二等奖2项,质检总局和院奖4项。

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殷聪:

? ? 博士,副研究?#20445;?#32435;米新材料计量研究所所长助理。主要?#37038;?#32435;米计量和激光技术研究。现开展激光汇聚原子沉积纳米光栅的制造及相关测量技术研究,发表科技论文十余篇,发明专利2项。任中国兵工学会光学专业委员会委员。

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王建波:

实验室介绍

纳米计量实验室

? ? 纳米计量实验室开展微纳几何结构和表面形貌计量技术研究,自2012成立以来,?#26800;?#20102;国家、总局和基金委的多项科研项目,自主建立我国微纳计量领域多台计量基标准装置,通过国际比对实现了量值国际等效互认;同时研制用于微纳量值传递的标?#35745;?#21644;标准物质,开展X射线工业CT、扫描电镜、原子力显微镜、?#24178;?#30005;镜、能谱仪等仪器计量校准技术研究,制定微纳计量领域多项计量校准规范和国家标准。建立我国微纳几何量值的源头及传递系,满足产业需求,直接服务于我国微电子集成电路、先进制造、生物医药等行业领域,对产业?#32435;?#32423;发展产生了巨大的影响。获得国家质检总局“科技兴检”奖两项,北京?#23567;?#31185;技学技术奖”一项,中国计量科学研究院科技进步奖两项,并完成多项国际比对。

专业所简介

? ? 纳米新材料计量研究所于2012年正式成立并运转。该所的研究方向为纳米几何量计量、材料计量、物理化学计量和作为国家长度基准的稳频激光。主要任务包括开展相关领域测量理论、测量技术和量值传递/溯源方法的研究;研究、建立、保存和维护相关计量基准、标准和国家标准物质;开展基标准装置、标准物质的国际量值比对,实现国际等效;开展相关量的值传递、溯源、及高端分析检测服务。

? ? 该所现建立和保存国家计量基准装置6项、计量标准装置22项,通过CNAS认可的校准与检测能力40项,研究开发国家一级标准物质103种,国家二级标准物质122种,涉及纳米几何结构、表面粗糙度,材料成分、结构、性能,以及燃烧?#21462;?#37240;度等经典物理化学量。参加国际比对55次,共有26项测量能力(CMC)列入国际计量局关键比对数据库(KCDB)中.

? ? 纳米计量和新材料计量是该所目?#30333;?#20026;活跃的研究领域,重点开展纳米几何量研究,纳米碳材料、聚合物材料、薄膜材料、粉体材料、织构材料等新材料的形貌、结构、成分和性能的研究。此外,石油产品和天然气的理化性能计量,传统物化计量的能力扩展,以及作为长度标准的稳频激光器的小型化和便携化也是发展的重点。

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